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第7讲：SiC单晶衬底加工技术

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第7讲：SiC单晶衬底加工技术

SiC单晶是一种硬而脆的材料，切片加工难度大，磨削精度要求高，因此晶圆制造是一个长时间且难度较高的过程。本文介绍了几种SiC单

erej8986
2024-10-10

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