2nm时代来临：ASML发布第三代EUV光刻机
-
2nm时代来临：ASML发布第三代EUV光刻机
本周，ASML交付了第三代极紫外 (EUV) 光刻工具Twinscan NXE:3800E，其投影镜头的数值孔径为 0.33。与现有的 Twinscan NXE:3600D
本周，ASML交付了第三代极紫外 (EUV) 光刻工具Twinscan NXE:3800E，其投影镜头的数值孔径为 0.33。与现有的 Twinscan NXE:3600D
